PECVD等离子发生器 TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1)

PVD

Tru...sma 双极系列 4000 (G2.1) 工艺电源专为使用 PVD、PECVD 和反应溅射工艺的等离子辅助镀膜而设计。凭借灵活可变的输出信号和先进的电弧管理，它们在太阳能电池和半导体制造、装饰层和耐磨层沉积以及建筑玻璃镀膜方面都能提供出色的效果。 极低的电弧能量 全数字化电弧管理可实现最高的镀膜质量和生产率。 可配置的波形 通过改变输出信号，可轻松适应各种工艺。 一台发生器，多种应用 直流、脉冲直流和双极：多种设置，节省成本。 集成水冷却器 无需外部组件，因此只需很小的空间。