等离子发生器 TruPlasma MW series

Tru...sma MW 系列发生器基于固态技术，频率精度明显高于磁控微波发生器。创新的平台概念可以高效、经济地实现最大等离子体密度，甚至达到非常苛刻的工艺要求。模块化结构还能精确调节输出功率。电源始终保持稳定，不会影响工艺质量。凭借现代化的工艺功能，Tru...sma MW 系列可确保在半导体、光伏电池和显示器生产中实现最佳效果和最高可靠性。 精确快速的脉冲整形 纳米秒范围内的创新脉冲可实现更好的等离子过程控制。 智能自动频率调整 自动频率调整保证了最佳的工艺效果和高度的可重复性。 同步相位 在多天线系统中，不同的发生器可以同步操作和脉冲相位。通过改变各个发生器之间的相位一致性，可实现广泛的等离子体均匀性。 稳健的设计 您可以信赖发生器的功能--即使在不匹配的情况下，过程质量也不会受到影响。 可靠的过程控制 高度精确的数字频率调制可确保工艺结果的可重复性，最大限度地提高涂层质量和生产率。 与多个发生器实时通信 通过数字 EtherCat 接口，您可以在几毫秒内快速控制设备。这样就能实现精确的等离子体分布。