Tru...sma VHF 3000 系列发电机基于创新的平台概念,可实现最高水平的功率密度,满足最苛刻的工艺要求。模块化和纯水冷式结构使输出功率最高可达 80 千瓦。这些结构紧凑的甚高频发生器还具有极高的成本效益和坚固耐用的设计。
精确快速的任意脉冲形状
这种设计为目前的单级和多级脉冲提供了最佳的等离子过程控制。
最短斜坡时间 < 150 ns
这意味着可以极其灵活地控制发生器的点火行为。
智能自动频率调整
自动频率调整可实现电源箱与火柴盒之间的最佳互动。
可靠而精密的过程控制
高度精确的数字频率调制带来卓越、可重复的过程结果。
不受电缆长度的影响
改变工艺时无需调整射频电缆的长度,从而缩短了设置时间。
坚固的设计
采用 CombineLine 技术,即使在不匹配的情况下,信号发生器的功能仍然可靠。
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