射频等离子发生器 TruPlasma RF Air 1000 series

风冷式射频发生器 Tru...sma RF 1001 Air 可提供高达 1000 瓦的高精度、可重复的射频能量，分辨率极高（增量为 100 mW），因此适用于各种等离子应用。无论是制造半导体、太阳能电池还是显示器，TRUMPF Hüttinger 的专利技术都能通过现代化的工艺功能确保最高的可靠性和最佳的工艺效果。 智能自动频率调整 保证最佳和快速的频率调整，从而实现发生器和火柴盒之间的最佳互动。 高精度电弧管理 高要求和新工艺的安全运行可确保您的产品得到保护。 多级脉冲 对脉冲形状进行多级灵活控制，以改善现代等离子工艺的加工效果。 即插即用 可灵活使用和更换发生器，以应对工艺变更或改造。 稳定的等离子工艺 已获专利的 CombineLine 技术可通过 50 欧姆的真实输出阻抗保证均匀的工艺功率。 均匀的发生器技术 射频产品系列具有不同的功率等级，可满足所有工艺要求。