新型 Tru...sma Match Series 1000 (G2/13) 配电箱是通快胡廷格射频发生器的理想补充。其智能匹配算法和用于过程监控的数字控制平台提供了一个全面的解决方案,其中所有组件都能以最佳方式协同工作,这就是通快射频系统。
智能匹配算法
快速、稳定、可重复的阻抗匹配至 50 欧姆,即使在关键工艺中也是如此。
整个系统的最佳互动
渐进式软件和改进的信号发生器与匹配盒之间的通信。
实时测量射频功率
对火柴盒和负载阻抗的每一次变化进行快速系统跟踪。
闭环控制
过程参数的最佳监控以及早期电弧检测。
用户友好的过程监控
图形用户界面和有效工具(史密斯图、实时示波器)。
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