PVD镀膜机 Titan DepositionPECVD静电真空
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产品规格型号
- 方法
- PVD, PECVD, 静电
- 其他特性
- 真空
产品介绍
经过生产验证的 Titan 沉降系统是一种带有真空盒式电梯的负载沉降系统。 它可以配置为聚氯乙烯、聚氯乙烯、聚氯乙烯、聚氯乙烯、聚氯乙烯。 泰坦沉积（Titan）以经济实惠的价格在小占地面积中提供创新和领先的工艺。
针对硅氧化硅、SiNx、SiC 和 A-Si 的可重复沉积制定了标准生产工艺。 所有这一切都以超过 25 年的快速工艺开发经验为后盾。
系统特点：
PLC 和触摸屏控制
静电，或机械夹头
主动基板温度控制
真空盒式电梯
可选激光器和光学端点
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