AC/DC开关电源 640

可变输出台式

艰苦跋涉的模型640静电Chuck优化器系统是使信号波形/电压评估和优化静电牛颈肉/钳位的为了使非钳位时间减到最小的一套诊断器械，最大化钳位力量，并且达到处理为ESC系统的最宜的薄酥饼。 模型640结合两个放大器(为两相电压组合)和波形发生器，可以独立地被编程和配置调查，研究和发现完善的电源和信号波形食谱高效率地驾驶ESC应用。一个静电电压表(ESVM)包括监测从clamping/de夹紧的过程的残余的电压。 关键规格 产品逐步采用： 电压A：0对±2 kV (4 kV p对p) 电压B：0对±2 kV (4 kV p对p) 输出电流范围：0对±5 mA DC以10 mA的高峰能力 静电电压表范围：0对±2 kV DC或峰顶AC 产品逐步采用： 决议：16位 样品每秒：250k 典型的应用包括 静电主导处理材料 半导体片处理 平板或其他处理材料非碎屑的调动敏感对机械处理 特点和好处 使定制的信号波形的创作是简单，并且强有力的，引起可以由用户构想的最复杂的信号波形 产品的软件通过任意数据输入、被预编程序的信号波形或者使用者产生的CSV文件接受参量 容纳单相或两相ESC系统 研究通过三个单独地被编程的阶段被提高建立产品