艰苦跋涉塑造软件驱动器的静电Chuck供应提供一一些特点提供重大好处,当容纳各种各样过分要求的应用时的645。被提供的用途表示,顾客看了在效率和生产量均等的增量对其他供应的三次。另外,式样645实际上消灭稠粘的薄酥饼和薄酥饼流行的问题,因而保证对微粒污秽的更好的控制。
假使通用性和表现式样645,可以用于多个独特的工具/过程,因而消除需要为每个独特的工具/过程指定新的供应在设施。
关键规格
产品逐步采用:
电压A (参考阶段):0对±2 kV
电压B (阶段B = [- 1] x阶段A):0对±2 kV
产品电压范围:0对±2 kV
输出电流范围:0对±6.5 mA DC以10 mA的高峰能力
典型的应用包括
静电主导处理材料
半导体片处理
平板或其他处理材料非碎屑的调动敏感对机械剪报
特点和好处
支持Coulombic和Johnsen-Rahbek ESC技术
用户构形为习惯钳位和declamp序列和波形
静电牛颈肉外形可以被上载到单位和通过一个用户友好的软件界面内部地被存放
后侧方气体错误、增加的稠粘/流行的薄酥饼的生产量和排除的被提供的减少
可锁定的面板控制界面
对控制参数的能力例如过载电流,薄酥饼当前和薄酥饼被夹紧的门限,钳位电压,
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