碳化硅具有非常好的机械性能,即使在极高的温度下也能保持其强度。它还具有优异的耐酸、耐碱和耐熔盐性,最高温度可达800℃。这些优异的性能使碳化硅适用于需要极高的抗磨损、抗热冲击和抗腐蚀的应用。
顶尖精工在碳化硅和碳化硅-碳化硅金属基复合材料(Si-SiC MMCs)的精密加工方面拥有丰富的经验。与碳化硅类似,MMC也是需要高导热性和高耐磨性的优秀材料。
关键属性
高硬度
耐磨性
由于硬度高,SiC具有极强的抗划痕和耐磨性。
高热稳定性
高温强度
低热膨胀
高导热性
高抗热冲击性
SiC可以在非常高的温度下保持其强度。由于它具有高导热性、低热膨胀性和高强度的优良组合,因此具有极强的抗热冲击性,可以承受快速加热和冷却。
耐化学性
SiC对酸、碱和活性气体有很强的耐受性。
应用
晶圆载体和晶圆托盘支架等需要高度耐刮擦的部件。
涡轮组件
喷头
机械密封和轴承。
要求在高温下具有高稳定性和形状保持性的部件。
高温下使用的传热元件,如加热器、散热器、热交换器等。
化学环境中使用的部件
需要用酸或碱去除沉积物的部件。
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