用于半导体抛光垫的电镀垫修整器
该砂轮用于修整/调理半导体设备平整过程中使用的抛光垫。将所选金刚石的适当磨粒电镀到基体金属上,带来稳定的修整/调节,并导致个体差异的减少。
工作材料。聚氨酯垫,无纺布垫,麂皮绒垫,这些都是半导体抛光垫。
粘合。电镀
规格
*外直径: ~φ740D(29B)
*基础精度。平面度≤0.3 设置公差≤0.05
*底座材料。SUS304, SUS420
*底座涂层。带或不带特氟隆涂层
*电镀表面:单面或双面
*磨料颗粒。金刚石(块状类型)
*颗粒大小。#60 ~ 400
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