金刚石砂轮用于SiC晶片的粗磨和精磨,使用寿命长,成本合理。
*工作材料。半导体晶圆(SiC、GaN、GaAs、LT/LN)。
*应用。晶片研磨/背面研磨(粗磨和精磨
[规格]
*用于粗磨
钻石类型。合成金刚石
粘合。多孔陶瓷结合剂
磨料颗粒大小。高达#4000
浓度比。高达120
齿宽:2 - 4mm
齿高。高达6毫米
外直径。高达350毫米
*用于精细研磨
钻石类型。合成金刚石
粘接。多孔陶瓷结合剂
磨料颗粒大小。#5000 - #12000
浓度比。最高可达120
齿宽:2 - 4mm
齿高。高达6毫米
外直径。高达350毫米
我们的多孔陶瓷结合剂砂轮 "VEGA "比传统砂轮有更大的孔径和更高的孔隙率,使工作材料的咬合性能最大化。
它特别适用于SiC晶圆的晶圆/背面磨削,可磨削6英寸的SiC晶圆而无需修整。卓越的耐磨性增加了每个砂轮可加工的硅片数量,有助于降低硅片加工成本。
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