TOOL-Base是一种先进的主动压电地面减振平台,用于超精密仪器和机械设备。
它适用于比典型的商业扫描电子显微镜(SEM)更大或更重的仪器,而且设备有高度限制。
TOOL-Base不局限于单一的配置,而是可以被设计成与工具的尺寸、腿的布局和高度要求紧密匹配。此外,它的容量可以与有效载荷的质量相匹配。
硬安装技术 - TOOL-Base是带有内部气动振动控制系统的理想工具,提供一个稳定和坚硬的平台,以支持振动敏感的工具。
主动惯性振动消除 - TOOL-Base采用高灵敏度,低频惯性速度传感器,以实现高水平的振动衰减,即使在安静的地面上。
采用压电技术的串行设计 - 独特的串行设计和专利的高功率压电技术使得0。6Hz开始的有源带宽很宽,并且在2Hz开始的主动减振90%达到无与伦比的惯性主动减振效果。
配置灵活性 - TOOL-Base的配置可以调整,以适应刀具的底座和高度要求。