3轴定位控制器 PEPS® II

数字电子高性能

概述- PEPS® II建立在TMC的专利PEPS®（精密电子定位系统）基础上并对其进行了改进。通过添加新的数字控制器，PEPS® II更易于使用，提供了更多功能，还有一个改进的用户界面。PEPS®II是一种用于TMC气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。这种系统通常包括机械高度阀和机械高度传感连杆。其应用包括需要改善稳定时间和提高产量的半导体制造设备以及需要最佳噪声性能和平台稳定性的精密实验室环境。 美国专利号5,832,806 特点- •数字控制，用户友好的LCD界面 •用于Gimbal Piston™、CSP®和MaxDamp®隔振系统的非接触式电动气动高度控制 •Z轴位置重现性：10微米 •由于消除了传统机械高度控制系统的杠杆接触点，从而改善了隔振效果 •气动前馈功能最大限度地减少了Z轴对X-Y平台运动的反应 •可以调整以快速稳定由X-Y平台引起的运动 可选的“VX”功能集成了惯性传感器，用于主动阻尼垂直隔振器共振 与“软坞站”兼容。允许在没有运动安装的情况下加载/卸载晶圆 相称的电子阀门。“开关”或传统电子阀不会产生脉冲噪声 排气管用于废气的清洁处理 逻辑停靠控制和状态