主动式隔振系统 Electro-Damp® II

半导体工业

概述 Electro-Damp®是第一款专门用于提高半导体制造应用中的吞吐量、分辨率和产量的商用主动隔振系统。Electro-Damp II是对原始系统的完全重新设计，增加了模块化、数字控制、前馈、高力/高间隙执行器以及多个专门设计用于OEM应用（如显微光刻、检测和计量工具）的数字用户界面。 半导体制造工具对其隔振系统提出了相互矛盾的要求。为了应对地面噪音，系统必须足够柔软，以有效地过滤地面振动，阻止其到达隔振表面。同时，系统必须足够坚硬，以应对工作台的力，以便工作台运动使隔振表面产生最小位移并能快速稳定。 除了采用惯性、主动反馈阻尼之外，Electro-Damp II还使用信息前馈来进一步改善系统响应。前馈从工作台控制器获取关于工作台位置和加速度的信息，然后处理这些数据，以向有效载荷提供力驱动，从而大大减少了由工作台引起的有效载荷运动。系统可以以数字方式读取前馈信息，作为双极性模拟信号，或通过读取正交编码器的输出。DC-2000数字控制器还可以使用工作台测试模式自动调整前馈所需的参数。这使得在初始安装时或在更改有效载荷之后能够快速简便地进行设置。 Electro-Damp II的模块化设计允许系统单独与电子伺服阀一起使用（适用于重型、低加速度应用，如CMM）、只与电磁驱动一起使用（适用于使用高加速度的较轻工作台）或与两者结合使用（适用于最苛刻的应用）。