主动式隔振系统 Stage-Base 450
半导体工业

主动式隔振系统
主动式隔振系统
主动式隔振系统
主动式隔振系统
添加到我的收藏夹
添加到产品对比表
 

产品规格型号

应用
半导体工业
其他特性
主动式

产品介绍

TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主要消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能,它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定,以最大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM,可以缩短稳定时间,进一步提高吞吐量,从而为移动平台应用提供最先进的主动振动和运动消除系统。 Stage-Base的优势- Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种独特的高级低频消振串行型技术,通过使用音圈电机(VCM),实现了主动移动平台运动消除。 Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术,使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了卓越的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内最佳地面隔振,响应于平台力的初始偏转明显更小。
* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。