概述
LaserTable-Base™是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常,光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效,但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。
TMC的STACIS通过结合压电致动器和惯性振动传感器的专有技术克服了这些限制,可消除而不会放大极低频振动。LaserTable-Base将这两项技术(空气和STACIS)整合到一个集成的消振系统中。由于两个串联隔振系统的综合效应,这实现了低频率消振和前所未有的高频隔振水平。
LaserTable-Base的上部气动部分采用模块化设计,可互换。它可以结合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空气隔振器或刚性、非隔振支架,具体取决于应用要求。
• 采用专利STACIS®技术
• 主动惯性消振系统
• 消振从低于1 Hz开始
• 加长行程的压电致动器,高达60微米。
• 6个主动自由度
• 由两个串联隔振系统组成,可实现最佳隔振效果
• 采用专利MaxDamp®空气隔振器
• 简单、坚固且经济高效
• 可选的搁板,用于在工作台下方安装设备
• 包括TMC的DC-2020数字控制器
将低频、被动MaxDamp®空气隔振器与压电主动消振系统串联在一起,可得到整体传递率曲线,即两条单独传递率曲线的总和。由此产生的隔振性能非常显著,在某些频率范围内,我们受到测量仪器噪声基底的限制。并且无法测量和演示完整的隔振性能。也就是说,在10-12 Hz以上,组合系统的实际性能预计将超过所示性能,因为组合隔振理论上是两个子系统所提供的隔振的总和。