SEM-Closure™是一款专为扫描电子显微镜(SEM)设计的隔音罩。SEM-Closure™与TMC的SEM-Base™地面平台和Mag-NetX™磁场消除系统一起提供了一个全面的环境解决方案,保护敏感的SEM免受外界干扰。
SEM-Closure设计用于在一个密封和温控声学室中装载主动压电消振地面平台SEM-Base和Mag-NetX,用于保护SEM免受振动、磁场干扰和声学噪声的影响。
这三个系统的集成可确保适当的配合和兼容性。隔振系统可以位于隔音罩内部。此外,SEM-Closure的框架设计用于装载Mag-NetX亥姆霍兹线圈以及隔音板,无需第二个框架来容纳线圈。SEM-Closure有多个接入点、一个散热系统以及用于工具管件和系统内布线的组件。