Smartline真空传感器
绝对压力1000mbar至5 x 10-9 mbar(=hPa),750 Torr至5 x 10-9 Torr
紧凑的VSM是一个数字组合传感器(皮拉尼/冷阴极),测量从大气到超高真空的绝对压力。Smartline传感器由一个微处理器控制,能够自动管理真空传感器在测量范围和切换点方面的适当互动,从而实现高精确度。
您的利益。
- 通过皮拉尼和冷阴极的组合扩大测量范围
- 扩展的皮拉尼范围,允许冷阴极在较低的压力下运行,并提高使用寿命
- 冷阴极传感器可抵御空气渗入
- 冷阴极的电压降低,优化了传感器的耐久性
- 数字RS485接口和模拟输出信号1,819-8,6 V或EtherCAT
- 自动检测波特率9.6 kBd至115 kBd
- 可选择集成背光显示的大LCD显示屏(VSM77DL,VSM79DL)。
- 两个独立的无电位继电器开关点
- 校准的交换传感器头,可快速、方便地更换
典型应用。
- 质谱分析
- 涂料厂和蒸气沉积
- 精细和高真空的测量和控制
- 过程工程
- 溅射厂
- 工业炉
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