PVC 离子规和真空系统控制器 ● 用于被动式 UHV 热阴极离子规。
该系列仪器包括用于一个或两个无源热阴极离子计的控制器,以及用于操作额外的无源皮拉尼传感器VSP521/VSP841或有源0-10V真空传感器的各种插件模块。
该系列仪器包括一个或两个无源热阴极离子测量仪的控制器,以及用于操作附加的无源皮拉尼传感器VSP521/VSP841或有源0-10V真空传感器的各种插件模块。还可提供合适的热阴极离子测量仪和附件,如用于烘烤控制的热电偶温度传感器或测量电缆。
概述 PVC 离子规和真空系统控制器
- 用于1个UHV离子表支架(PVCuni)或2个UHV离子表支架(PVCduo)
- 2个模块插槽,用于添加Pirani仪表或有源0-10V传感器。
- 直观的菜单式操作
- 自动测距排放,或11种手动排放设置
- 脱气过程中的压力测量,斜坡功率脱气。
- 2个模块插槽,用于添加Pirani (VSP52x, VSP84x)
- 集成、互锁、多级烘烤控制器
- 2个用户定义的开/关定时器
- 用户可定义联锁枢纽,7个输出跳闸和4个数字输入
- 测量值以压力单位显示,或以直接离子电流(发射校正)显示,用于束流监测(BFM)。
- 标配多路RS232/RS485接口,便于菊花链连接。
- 使用二进制MODBUS和基于ASCII的QueBUS协议进行全计算机控制。
- 2 x 0-10V模拟输出
应用
- 所有高压和超高压系统的压力和联锁监控,以及过程控制。
- MBE光束通量监测
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