模拟 VSR 真空传感器结合了压电和皮拉尼传感器,在粗真空和细真空范围内具有高精度和出色的分辨率。
MA4 - 4-20 mA 输出信号
MV - 0-10V 输出信号
带有压电/皮拉尼传感器的 VSR 真空传感器概览:
- 压电/皮拉尼组合传感器,测量范围扩展至 5.0 x 10-5 毫巴
- 整个测量范围(包括粗真空)内精度高
- 出色的再现性和可靠性,可实现稳定的生产过程
- 测量不受低真空气体类型的影响
- 响应时间快达 18 毫秒,缩短了时钟周期
- 内置金属面,可防止污染
- 采用金属密封不锈钢测量单元,适用于超高真空环境(He 泄露率小于 5e-10 毫巴升/秒)
- 超压稳定性高达 10 巴
- LED 光学状态显示
---