与聚焦离子束扫描电子显微镜配合使用的快速原型软件,用于系统规划和构建多层纳米器件。
Thermo Scientific NanoBuilder 软件是系统规划和构建多层纳米器件的工具。它通过将 CAD 文件划分为有序的项目来实现,便于生成以前繁琐甚至无法构建的复杂结构。NanoBuilder 软件支持所有 DualBeam(聚焦离子束扫描电子显微镜,FIB-SEM)制图工艺,可在多个部位对大型复杂纳米结构进行精确制图:FIB 铣削、气体辅助 FIB 铣削、FIB 诱导沉积和电子诱导沉积。
全自动
全自动作业执行、平台导航、铣削和沉积。
FIB 和 GIS
优化的聚焦离子束 (FIB) 和气体注入系统 (GIS)。
CAD
基于 CAD 的原型设计。
对准
自动对齐和漂移控制。
图形化序列
使用 Thermo Scientific NanoArchitect 软件在台式 PC 上规划图案化序列。
---