透射电子显微镜 Spectra Ultra

质量控制用于材料研究用于半导体

扫描透射电子显微镜用于光束敏感材料的成像和光谱分析。 Spectra Ultra扫描透射电子显微镜 为了真正优化TEM和STEM成像，EDX和EELS可能需要在不同的加速电压下采集不同的信号。规则可能因样品而异，但是，人们普遍认为。1）最好的成像是在可能的最高加速电压下完成的，超过这个电压就会发生可见的损伤，2）EDX，特别是在制图时，受益于较低的电压和增加的电离截面，从而在给定的总剂量下产生更好的信噪比地图，3）EELS在高电压下工作最好，以避免多重散射，随着样品厚度的增加，EELS信号就会退化。 不幸的是，在同一个样品上以不同的加速电压进行采集而不丢失感兴趣的区域--在一次显微镜检查过程中，这是不可能的。至少，直到现在。 想象一下Thermo Scientific Spectra 300 S/TEM。 - 在一次显微镜检查中可以真正在不同的电压下操作（购买的排列组合的所有电压在30到300千伏之间）。 - 从一个加速电压转换到任何其他电压需要大约5分钟 - 可以容纳一个完全不同的EDX概念，具有4.45 srad的实体角（使用分析型双倾斜支架的实体角为4.04 srad）。 有了新的Spectra Ultra S/TEM，加速电压成为一个可调节的参数，就像探针电流一样，巨大的Ultra-X EDX系统可以对传统EDX分析中对光束太敏感的材料进行化学表征。