聚焦离子束扫描电子显微镜用于超高分辨率、高质量的样品制备和三维表征。
Thermo Scientific Scios 2 DualBeam是一种超高分辨率的分析型聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)系统,为各种样品(包括磁性和非导电材料)提供出色的样品制备和三维表征性能。Scios 2 DualBeam具有创新功能,旨在提高产量、精度和易用性,是满足科学家和工程师在学术、政府和工业研究环境中进行高级研究和分析的理想解决方案。
次表层表征
为了更好地了解样品的结构和特性,通常需要进行次表层或三维表征。Scios 2 DualBeam与可选的Thermo Scientific Auto Slice & View 4 (AS&V4)软件一起,可以高质量、全自动地获取多模式的三维数据集,包括背散射电子(BSE)成像以获得最大的材料对比度,能量分散光谱(EDS)以获得成分信息,以及电子背散射衍射(EBSD)以获得微结构和晶体学信息。与Thermo Scientific Avizo软件相结合,Scios 2 DualBeam提供了一个独特的工作流程解决方案,用于高分辨率、先进的三维表征和纳米级分析。
背散射电子和二次电子成像
创新的NICol电子柱为该系统的高分辨率成像和检测能力提供了基础。
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