电子扫描显微镜带有聚焦离子探头显微镜 Helios 5 PFIB DualBeam

用于材料研究用于半导体3D

等离子聚焦离子束扫描电子显微镜，用于 TEM 样品制备，包括三维表征、横截面和微加工。 Thermo Scientific Helios 5 ...sma FIB (PFIB) DualBeam（聚焦离子束扫描电子显微镜或 FIB-SEM）为材料科学和半导体应用提供了无与伦比的功能。对于材料科学研究人员，Helios 5 PFIB DualBeam 可提供大容量三维表征、无镓样品制备和精确微加工。对于半导体器件、先进封装技术和显示设备制造商，Helios 5 PFIB DualBeam 可提供无损伤、大面积去处理、快速样品制备和高保真失效分析。 无镓 STEM 和 TEM 样品制备 新型 PFIB 柱可进行 500 V Xe+ 最终抛光，在所有操作条件下均可提供卓越的性能，从而实现高质量、无镓 TEM 和 APT 样品制备。 先进的自动化 使用选配的 AutoTEM 5 软件，可实现最快速、最简便的原位和非原位 TEM 样品制备和横截面切割自动化。 新一代 2.5 μA 氙等离子 FIB 柱 使用新一代 2.5 μA 氙等离子 FIB 柱 (PFIB)，可进行高通量、高质量的三维表征、横截面和微加工。 多模态地下和三维信息 使用可选的自动切片和查看 4 (AS&V4) 软件，获取高质量、多模态的次表层和三维信息，并对感兴趣的区域进行精确定位。