- 工业检测、测量设备
- 测流量仪表、测压力仪表、测液位仪表
- 压阻式真空计
- Teledyne Hastings Instruments/美国Teledyne
皮拉尼真空计 HPM 2002 压阻式LED显示紧凑型
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产品规格型号
- 所用技术
- 皮拉尼, 压阻式
- 显示
- LED显示
- 其他特性
- 紧凑型
- 真空范围
最多: 1,000 Torr
(19.33672127 psi)最少: 0 Torr
(0 psi)
产品介绍
获奖的2002系列宽范围、双传感器真空计，有两种安装方式，面板安装或传感器安装。
HPM-2002双传感器真空计是一种面板安装仪器，带有基于微处理器的显示单元、测量管和互连电缆。 两个传感元件（微机械皮拉尼和压阻式传感器），在1 X 10-4至1000托的70年压力范围内提供精确的真空测量。 驻留在微处理器中的算法确保了传感器之间的无缝转换。 HPM-2002-OBE，双传感器真空计，是该真空计的系统安装版本。 HPM-2002-OBE以紧凑的配置提供了2002系列的所有性能特征，您可以选择12种信号输出选项。
应用
半导体蚀刻
溅射室
负载锁定系统
过程控制和测试
等离子体镀膜
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