HFM-301 / HFC-303流量计和控制器的流量范围从0-25 slm到0-1000 slm;提供模拟输出,由不锈钢制成,有常闭阀。满量程由终端用户指定。 标准配置是NIST可追溯的校准证书。HFM-301 / HFC-303有多种弹性体和高压选项,可用于各种应用。可提供用于氧气服务的清洗。
满刻度的±1% 准确度
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应用和行业
泄漏测试
火焰喷射
气体混合
半导体工艺
薄膜沉积
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