HFM-200/HFC-202是Teledyne Hastings的灵活、通用的质量流量计和控制器系列。 200系列具有可靠性和稳定性,在不同的环境条件下具有非常稳定的性能,因此被OEM选择。 有多种弹性体密封件可供选择,使该流量控制器与大多数气体兼容。
HFM-200 / HFC-202流量计和控制器的流量范围从0-10 sccm到0-25 slm;提供模拟输出,由不锈钢制成,有常闭阀。满量程由终端用户指定。标准配置是NIST可追溯的校准证书。许多腐蚀性气体和高达1000psig的压力都很容易测量。可提供用于氧气服务的清洗。
±(满量程的1%)精度
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