质量流技术提供了可靠的、可重复的和准确的气体流速测量。
HFM-D-300A / HFC-D-302A质量流量仪的流量范围从0-5 sccm到0-25 slm;使用全金属密封,提供模拟和数字输出,并由不锈钢制成。简便的、用户友好的数字通信,有基于Windows的软件界面。
数字功能中包括传感器、阀门和溢流的自我诊断。另外值得关注的是自动归零功能,它可以检测到阀门关闭并自动归零。这些质量流量计和控制器可以存储多达10个不同范围和气体的校准结果。另一个特点是内置累加器,用于监测用户设定条件下的气体用量。
泄漏测试
薄膜沉积
高纯度气体输送
热焰喷涂
气体混合
制药工艺
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