OPTI-Sense系列传感器建立在非色散红外测量法基础上,能够精确测量半导体应用中产生的特种气体的红外光谱吸收。该仪器设计紧凑,且无移动部件,适合在半导体工业流程中用于连续的现场气体监测。
内置的诊断系统包含在软件当中。全部OPTI-Sense系列传感器都配有模拟和数字交互,使得它们可以简单的整合进任何工业流程。
非色散红外技术
适用于任何吸收红外光的气体(SiF4, SiF3, CO, CO2, CF4, SF6, NF3, WF6 和其他气体)
响应时间快
高敏感度
种类明确
无消耗品
无移动部件
GUI LabView软件(可选)