光学干涉仪 PicoMove

子皮米级位移测量紧凑型高解析度

Teem Photonics公司已经开发并提供了一个新的紧凑、稳定和高性能的干涉仪系列，用于测量皮米级的位移和振动。 Teem Photonics的PicoMove干涉仪是基于单芯片集成的高稳定性架构，其测量结果具有内在的超低噪声。 对眼睛安全的1.55µm工作波长提供了与商业电信源的兼容性。 该传感器的设计还可以处理可见光波长，以方便光束对准。Teem提出了使用低热膨胀材料和UHV环境的封装选项。测量系统的电气部分（激光源、检测器）通过可靠的光纤尾纤进行远程控制。 > 激光信号（来自输入光纤）被分成两个臂：一个是具有光刻定义的恒定长度的参考臂，另一个是自由空间测量臂，光在移动目标上被反向反射。 > 后一臂的长度随目标位置的变化而变化。这两个臂是在芯片上重新组合的。 > 两个光纤输出提供正交干扰信号，以及两个功率参考信号，以实现矢量位移计算。