直流线性电机 ULV G2 series

无铁芯230V320 V

高加速度和高动态性能。 真空ULV – G2系列是高端真空级直线电机系列中的中型号系列。它们通常用于对峰值推力有要求或低热量输出的应用。例如在光刻和检测方案中，在更长的行程中，ULV – G2线圈可以连接组合以节省磁铁材料，但仍能达到高性能。