非接触式轮廓测量仪 LUPHOScan 260/420 HD

光学3D表面平整度测量用

用于测量非球面、自由曲面光学元件和透镜模具的非接触式三维形状/外形测量设备 LUPHOScan HD非接触式三维光学轮廓仪可对高偏差非球面和自由曲面等具有挑战性的表面的半径和不规则度进行最高精度的非接触式三维轮廓测量。LUPHOScan HD的稳定性是行业领先的，特别在一些严苛的环境下，也能保证对非球面和自由曲面进行超高精度地快速轮廓测量，新一代LUPHOScan HD三维轮廓仪是业界首款在高达 90°的采样斜率上精度优于 50 nm (3σ) 的仪器。 LUPHOScan HD 测量平台是一款基于多波长干涉技术 (MWLI®) 的干涉式扫描测量系统。 它专为旋转对称表面的超精密非接触式3D形状测量而设计，例如非球面、球面、平面和自由曲面光学透镜。 该仪器的主要特性包括高速测量、特殊表面的高灵活度测量 (例如；拐点的轮廓或平坦的尖点), 最大物体直径可达420 mm。