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高精度位移台 KDT105 series
XY 轴压电双轴

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产品规格型号

方向定位: XY 轴
轴数量: 双轴
其他特性: 高精度, 紧凑型, 适用真空, 用于显微镜, 高速, 交叉滚子
运行行程: 50 mm
(1.969 in)
速度: 2.5 mm/s, 25 mm/s

产品介绍

带孔径和交叉滚子轴承的XY平台为高真空、超高真空和极端紫外线辐射下的应用提供了高动态和速度。与它的尺寸相比，它可以实现非常小的步长。配备一个压电马达，它可以实现纳米范围内的最小步长，并具有几乎无法达到的位置稳定性。通过纳米运动，它实现了非常高的动态和高速，并具有最大的使用寿命，其精度在微米范围内。它可以很容易地与MT105升降台结合，从而提供许多应用的可能性。应用的领域实验室应用的精密定位，显微镜和半导体技术，超高真空和极紫外辐射下的研究，样品制备，样品扫描，样品处理，生物芯片，晶圆检查，晶圆对准，相机调整，材料研究，材料分析，光束线，加速器，同步辐射

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此为机器翻译文本。 (查看英文原文)