平面XY平台,60毫米行程,90毫米孔径,1.1微米重复性,6公斤负载
带孔径的平板结构对称XY平台
KDT180是一个普遍适用的平台,它以极平的设计和90 x 90 mm的大孔径而令人信服。光圈使差分测量排除了平台的残余误差或透射光测量。因此,该平台特别适用于计量和光学应用。
紧凑而平坦的大孔径
- 是显微镜、检查和测量系统的理想选择
- 精确的重复性可达 1.1 µm
- 可选择直流电机或步进电机版本
应用的领域
应用于显微镜、计量学、光学、三维成像、自动对焦系统、电子装配、光学定位、样品定位、半导体检测、测量系统、测量设备
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