高真空微定位系统 MP105-3 series

3轴XYZ轴压电

快速、精确的微定位器 - HV / UHV / EUV，20 - 50 mm行程，0.2 µm重复性，1 kg负载 - 真空：所有范围HV / UHV / EUV - 润滑液体可达10E-8/干燥可达10E-11毫巴 - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 不同的电机变体。压电马达或纳米运动 - 可选择配备高分辨率测量系统，重复精度可达0.005微米 - 可与旋转台结合用于旋转应用 - 可根据试验室中的安装情况进行单独调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 可选择带控制器FMC400/450 用于高精度或动态应用的小型化XYZ机械手 该机械手是一个高度动态的三轴系统，在非常有限的安装空间内进行X、Y和Z运动。可实现最大50毫米的行程。该机械手配备了压电马达，因此可以在高真空和超高真空的高精度应用中实现几纳米的定位增量。可选择配备纳米运动，它特别适用于高动态和高精度的定位。 应用范围 用于实验室应用的极小空间的精密定位，显微镜和半导体技术，超高真空和极端紫外线辐射下的研究，样品制备，样品扫描，样品处理，相机调整，传感器调整，材料研究，材料分析，光束线，加速器，同步辐射，小型化