高真空定位系统 LA80-2LA95

多轴3轴XY 轴

快速3轴超高压系统LA80-LA90 UV / UHV / EUV，最大。500毫米行程，2微米重复性，5公斤负载 这种快速转移平台适用于超高真空中精确、快速和长寿命的应用。由于其极低的发射量和低颗粒数，它也符合在极端紫外线辐射下使用的要求。该轴的尺寸为LA80、LA95、LA170，在垂直操作中可承受高达20公斤的载荷。该轴组合是作为 "tOMography Nano crYo (OMNY)" mit dem Paul Scherrer Institut (PSI)的一部分开发的。 超高真空下的精确、快速和耐用 - 真空：所有范围的HV / UHV / EUV，高达10E-11 mbar - 润滑液高达10E-8/干燥至10E-11 mbar - 在没有液体润滑的情况下，寿命在千米范围内 - 最大。烘烤温度。120°C - 有磁性版本 选项。 - 可根据您的应用专门调整行程，最大尺寸为510 x 80 x 80 mm - 无反馈，作为纯步进电机系统，重复性可达5µm - 由于在Z和Y方向有额外的压电钳制动器，在纳米范围内有出色的静止性能 - Z轴和Y轴的滚珠丝杠在润滑的情况下，速度更高，寿命更长 - 适用于洁净室ISO 14644-1 4级的型号（根据要求可达到1级）。 参考文献 OMNY-A tOMography Nano crYo stage | 科学仪器评论 89, 043706 (2018) | https://doi.org/10.1063/1.5020247