XY轴位移台 KDT600-EDLM

线性电机驱动双轴高精度

具有大孔径的扫描平台 这种大型精密xy平台是为最大的重复性而设计的。可以用节省成本的方式实现精度，否则只能保留给空气轴承系统。抛光的交叉滚子导轨用于直线度和平面度的重复性为+-0.15 µm。 通过大的透射光，大型基体也可以从两侧或用透视仪进行测量。它还提供了差分测量的选择，以利用测量应用中的全部传感器精度。即使在平台完全移动的情况下，也能始终保持至少60mm x 60mm的开口。 最快的扫描应用与高加速度 通过330毫米/秒的定位速度实现极快的扫描结果 以0.05微米的极端分辨率扫描高负载 成本优化，实现了与空气轴承系统相媲美的性能 免维护运行达500,000次全行程，之后只需简单的重新润滑即可 - 寿命可达两百万次全冲程 - 集成的电缆管理，插入式终端 应用的领域 快速扫描应用和动态网络旅行，如半导体检测、测量系统、自动光学检测（AOI）、测量设备、差分测量、空气轴承系统的替代品