适用真空位移台 LA92-40-LM-L

线性机动单轴

高速线性轴 HV / UHV / EUV，40毫米行程，0.4微米重复性，最高2公斤负载 真空：所有领域的HV / UHV，最高可达10E-11 mbar 润滑液高达10E-8 / 干的高达10E-11 mbar 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可与快速XYZ传输系统相结合（例如：LA90、LA95、LA170）。 - 可根据试验室中的安装情况进行单独调整 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（可按要求达到1级）。 - 可选择控制器FMC400/450 在UHV中快速水平和垂直定位 线性轴主要用于扫描样品。它可以在超高真空中以极高的分辨率进行快速定位，也可以在垂直方向进行定位。它有一个非常狭窄的设计，带有内部电机。 应用范围 高分辨率和快速扫描应用，微组装，超高真空中的半导体技术，真空室，研究，光束线仪器，电子组装和检查。