用于多种测量任务的高精度检测系统
这个三轴定位系统是为高精度的计量应用而设计的,在Z轴上,平台将待测物移动到传感器或相机上。xy平台由可靠的KT310组成,采用直流电机设计。它的概念是内部电机、交叉滚柱导轨和高精度滚珠丝杠,在优化利用安装空间的同时实现了卓越的精度。
高度精确和一致的测量结果
- 是自动化样品检测的理想选择
- 高精度的重复性可达 0.3 µm
- 测量偏差减少到3微米以下
可选择扩展。
- 各种行程可达200毫米
- 带/不带花岗岩底座
- 有/无振动去耦
- 步进电机、直流电机和各种测量系统的分辨率
- 电动Z轴,例如与MT130或PMT160配合使用
- 与DT200结合使用的旋转运动
- 适用于洁净室ISO 14644-1的型号(根据要求可达到1级)。
- 带有预配置控制器的即用型控制,包括样品软件
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