XYZ轴定位系统 782300:199.26

4轴线性用于检测晶片和计量

适用于12英寸晶圆、印刷电路板的XYZ Phi检查系统（洁净室ISO 2） - 检查和微镜检查 带有洁净室外壳的通用4轴花岗石龙门架 该XYZ Phi定位系统可用于半导体和电子制造业的各种测试和检测过程，洁净室等级可达ISO 2。由于在XY方向的行程设计高达320 x 320毫米，它适用于所有标准的晶圆尺寸，最大可达12英寸。使用线性马达驱动的KT405-320-EDLM机械平台，样品在Z轴上被高精度地操纵到激光、传感器或照相机上。用PMT160-050-DC-R/L精密测量平台调整传感器或照相机的垂直运动（最大50毫米），该平台可以选择补充一个旋转单元。 在苛刻的洁净室中进行高精度测试 - 是半导体技术、生物技术和制药业中要求严格的测试和检查过程的理想选择 - 快速适应不同的测量和测试任务 - 高精度的测量，在高达100毫米/秒的高速下，重复性可达0.3微米 - 带保护罩的安全概念 - 无排放，可达到洁净室ISO 2级 - 系统的交付包括花岗岩基座、钢制框架以及带有保护罩和油漆外壳的控制装置。 可选择扩展。 - ISO 14644-1版本（按要求可达到1级）。 - 带旋转轴DT200的传感器的旋转臂 - 底板由花岗岩或铝制成 - 其他行程和不同的样品 - 适应性强，可集成到自动化流程中 - 可立即使用预先配置好的控制器，包括示范性的软件