单轴定位系统 782424:005.26

线性旋转用于检测晶片和计量

用于检测晶圆、生物样品的X-Phi定位系统(洁净室ISO 5) - 旋转轴和线性平台 - 检测和微镜检查 高精度的线性-旋转定位 这个X Phi系统可以将样品（如晶圆、生物样品）以精确定义的角度定位到传感器或相机上。它包括一个线性X轴，带滚珠丝杠的精确标准线性平台PMT160，以及一个由平带驱动的无限行程的集成旋转单元。为了适合洁净室，居中测量系统和移动旋转单元的电缆导轨都被安置在线性系统的外壳内。波纹管将系统从外部密封起来，以防止颗粒物排放。 用于洁净室的免维护定位系统 - 是半导体技术、生物技术和制药业检测任务的理想选择 - 高精度的测量，重复性可达0.3 µm - 线性平台出色的平面度使得只用一个传感器就能实现高精度的涂层厚度测量 - 通过外壳和波纹管将颗粒物排放减少到ISO 5级 - 免维护，工业化连续运行，底板上的系统更换简单 可选的可扩展。 - 用于洁净室ISO 14644-1的更多版本（根据要求可达到1级）。 - 底板由花岗岩或铝制成 - 密封的特殊电机，有药品认证 - 用于极端环境条件的版本，例如辐射、真空 - 可扩展到客户特定的完整应用 - 通过预配置的控制器（包括示范性软件）立即使用