XYZ轴定位系统 782498:001.26

线性自动半导体工业

XYZ半导体检测龙门架 | XY直线电机，型材导轨 | Z滚珠丝杠，交流伺服 - 检测和微观分析 半导体的高精度自动3D检测 这个3轴定位系统在Z轴上将高分辨率的相机或传感器移到目标上。基于线性直接驱动的LA250线性轴，该系统实现了高速度和高加速度，具有高精度和非常好的可重复性。对于垂直定位，高精度的PLT165-AC线性平台带有强大的交流伺服电机，用于驱动其精密滚珠丝杠。它具有很高的有效载荷能力，即使是重型传感器。 在低维护的24/7操作中实现高产量 - 是自动检测大型平坦样品的理想选择，例如，通过移动桥的方式检测晶圆、探针卡 - 700 x 700 x 200毫米的超长行程，可承受高达15公斤的负载 - 高精度测量，重复性达0.3微米 - 高倍率测量的最高稳定性 可选择扩展。 - 各种行程可达2000毫米 - Z型手动或电动控制 - 带/不带花岗岩或铝制的框架和底板 - ISO 14644-1版本（可按要求达到1级）。 - 可选择预配置的控制器，包括可立即使用的示范性软件