XYZ轴定位系统 782300:265.26

线性用于检测晶片和计量半导体工业

高度稳定的非接触式光学测量。 这个XY组合有一个独立的Z-垂直单元，可以安装一个定制的显微镜、照相机或传感器。花岗岩板上带有步进电机的KT310交叉台将被检测的晶圆高精度地移动到显微镜上，并实现稳定的高分辨率成像。其带有内部电机、交叉滚子导轨和高精度滚珠丝杠的概念，在最佳利用安装空间的情况下实现了出色的精度。 对最小的细节进行高精度分析 - 是对晶圆、印刷电路板和探针卡进行光学检测的理想选择 - 可轻松适应各种定制显微镜、照相机或传感器 - 对高达200 x 200毫米的晶圆进行高精度的表面检测 - 由于采用步进电机驱动，维护成本低，性价比高 可选的扩展。 - 其他行程和长度 - 有/无花岗岩或铝制的框架和底板 - ISO 14644-1版本（根据要求可达到1级），例如，带外壳和排气系统的版本。 - 电缆布线的个性化解决方案 - 通过阻尼橡胶层或气动阻尼器调整振动去耦的方式 - 集成到客户特定的整体应用中