3轴定位系统 782300:186.26

XZ线性用于检测晶片和计量

用于实验室和晶圆检测的XZ系统｜滚珠丝杠、直流电动机、交叉滚子、线性测量系统 高精度和模块化的3轴系统 XZ组合由PMT160的高精度和耐用的标准线性轴组成。该组合适用于所有要求完美的平面度、最小的俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。XZ系统可随时使用控制器以及软件，并以可靠的参数运行。 灵活，即时操作和测试 - 是建立和扩大你的应用的理想选择 - 高度精确的重复性，可达 0.4 µm - 在相对较高的50毫米/秒的定位速度下，步骤最小，可靠性最高 - 完美的平面度为±1，用于定位5公斤以下的中等载荷 可选的可扩展性。 - 每个轴的不同行程为50-300毫米 - 与DT130或DT200结合的旋转运动 - 各种各样的电机变体。直流电动机、步进电动机、直线电动机和纳米电动机 - 可立即使用预先配置好的控制器，包括示范性的软件 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本