XYZ轴定位系统 782300:193.26

线性用于检测晶片和计量质量控制

用于检测和质量控制的XYZ系统| XY直流电动机、交叉滚子| Z直流电动机、滚珠丝杠、线性测量系统 高精度检测，误差率最低 定位系统可沿三个线性轴进行定位。在该装置中，一个PMT160线性平台被安装在一个带有适配器支架的KT470交叉台上。它在直线度和平面度方面实现了低跳动误差，这是通过使用交叉滚轮实现的。这导致了高于平均水平的可重复性，这是良好补偿的基础。这使得测量应用具有极高的精度。 是光学质量控制的理想选择 - 极高的跳动精度和可重复性，可达 0.3 µm - 用成本效益高的驱动装置对负载进行定位，最大可达150 N - 高达50毫米/秒的高速度 - 将随机误差降至最低 - 易于集成，可与现有的摄像系统和传感器灵活组合 可选的可扩展性。 - 在Z轴上有50-300毫米的不同行程 - 各种电机变体。直流电动机或步进电动机 - 可立即使用预先配置好的控制器，包括示范性的软件 - 适用于洁净室的版本ISO 14644-1