XZ-Phi系统 | X直线电机,滚珠丝杠 | Z直流电机,交叉滚子 | Phi扭矩电机
带衬垫轴和旋转台的高精度测量系统
这个X-Z-Phi多轴定位系统由高精度和耐用的标准轴(PMT160-300-EDLM、MT130-50-DC、DT170-TM)组成,它们可以理想地组合成一个高精度测量装置。对于水平运动,PMT160-300-EDLM除了具有较高的定位速度外,还能实现亚微米范围内的最小步长。为了充分利用直线光栅尺的精度,它与被测距离保持一致(阿贝的比较器原理)。栅尺与转台分开,在转台前的径向上位于待测工件的高度。
高度精确和可靠的计量学
- 是建立您的高精度计量系统的理想选择
- 测量系统分辨率在亚微米范围内,最高可达0.1微米/0.0001°。
- 高精度的重复性可达 0.3 µm
- 最精细的旋转运动,可达0.001°。
- 维修率低,使用寿命极长
可灵活配置。
- 不同的电机变体。直流电动机、步进电动机、直线电动机和纳米电动机
- 可立即使用预配置的控制器,包括示范性的软件
- 适用于洁净室的版本ISO 14644-1
---