光学应用纳米定位系统 782300:130.26

3轴XYZ轴线性

用于高精度自动光学检测的XYZ定位系统 | 滚珠丝杠、交叉滚子、直流电机、线性测量系统 在亚微米范围内高度稳定的非接触光学测量 这个三轴定位系统是为高精度测量应用而开发的，在这种情况下，XY平台以极低的俯仰和偏航误差将被测物体移动到Z轴上的传感器或相机。例如，在测量零件或记录三维轮廓时，甚至在高大的零件上也是如此。XYZ系统由KT310交叉工作台和花岗岩龙门架上的PMT160线性工作台的耐用标准轴组成。 高度精确和一致的测量结果 - 是高精度自动检测过程的理想选择 - 高重复性，可达 0.3 µm - 测量误差减少到3微米以下 可灵活配置。 - 最大行程可达150毫米 - 可选择不同的测量系统分辨率 - 与DT200结合使用的旋转运动 - 与平面度无关的接口以及调整选项 - 不同的电机类型。直流电机或步进电机 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本 - 带有预配置控制器的即用型控制，包括样本软件