XYZ轴定位系统 217999

线性用于检测晶片和计量直流电动机

用于可变和移动负载的XYZ测量系统 | XYZ滚珠丝杠、交叉滚子、直流电机、线性测量系统 即使是可变载荷的高精度测量 该XYZ定位系统是专门为可变载荷和移动物体的高精度测量而设计的。如果必须一个接一个地测量不同重量等级的物体，传统的测量平台很快就会达到其极限。这个XYZ测量系统为这个问题提供了一个解决方案。 完美的平面度和直线度，适用于30公斤以下的样品 - 是部件测量或捕获高大部件的三维轮廓的理想选择 - 不受载荷影响的高精度测量，±1微米，即使有移动的物体也是如此 - 大幅减少测量误差至5µrad以下 - 完美的直线度为± 0.5 µm，平面度为± 1 µm - 独立于平面度的接口和调整可能性 可选择配置。 - 不同的电机变体。直流电机或步进电机 - 与DT130或DT200结合进行旋转运动 - 用于生物技术、医疗技术、制药、半导体的特殊配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的型号（根据要求可达到1级）。 - 可与预配置的控制器一起使用，包括示范性的软件