XY轴定位系统 782344:025.26

线性双耳轴用于无菌室

双XY直线轴，用于高精度调整晶圆步进机的透镜 - 洁净室中的超细紫外线曝光 - 精密装配 高精度调整两个光学器件 这种高精度的双线性轴是专门为晶圆步进机开发的。两个透镜应相对定位，也可相互配合，以便在紫外线曝光期间实现更精细的结构。这个解决方案由一个共同的导轨系统上的两个滑动轴组成。两个移动的滑动车架各有三个车架，这使得它们可以在彼此内部部分移动，以便使镜片尽可能紧密地靠在一起。 在极其干燥的环境中进行超精细成像 - 专门为最大化晶圆步进系统的产量和分辨率而开发 - 在350毫米的移动距离内，镜头相互之间以及相互之间的同时定位 - 在极其干燥的洁净室条件下，重复性为1.5微米 - 由于采用了可更换的电机编码器组件，易于维护 特殊功能。 - 与紫外线兼容 - 抛光的表面 - 洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求达到1级）。 - 可立即使用预配置的控制器，包括示范性的软件