XYZ轴定位系统 782481:001.26

门式用于检测晶片和计量用于显微镜检查

XYZ AFM龙门架，用于晶圆检测、显微镜|行程达550 x 1550毫米|空气轴承、滚珠丝杠、皮带、步进电机 高度稳定的AFM空气轴承龙门架，行程范围大 这种非常坚固的XYZ龙门架是专门为高精度原子力显微镜（AFM）检查特别大的玻璃样品而设计的。在u型样品平台的上方是一个可移动的Z型悬臂，用于定制AFM。 悬臂可以精确地与样品对齐，并移动到U形内的任何一点进行表面浮雕采集。空气轴承提供了出色的平面内定位精度。最大的样品重量是500公斤。 原子稳定性，用于高要求的测量 - 非常适合于没有振动影响的高刚性和精确的测量 - 由于行程为150 x 275 x 50毫米，可扩展到550 x 1550 x 50毫米，因此产量高 - 静止时的极端稳定性为5纳米或更高 - 由于使用了无磨损的空气轴承，因此具有出色的长寿命 可选择扩展。 - 将更多的传感器集成到过程中 - 定制的横移路径、长度组合、电缆和控制系统的适应性 - 用于防止建筑物振动的脚垫 - 用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 用于排气的连接 - 用于生物技术、医疗技术、制药、半导体的特殊配置 - 可选择预配置的控制器，包括可立即使用的示范性软件